CIOCISO
램리서치, 자가 유지보수 장비로 최고 생산 경신고객사 협업 통해 식각 시스템 가동 시간 새로운 산업 기준 제시
박진석 기자  |  jspark@ciociso.com
폰트키우기 폰트줄이기 프린트하기 메일보내기 신고하기
[0호] 승인 2019.04.29  
트위터 페이스북 미투데이 요즘 네이버 구글 msn

램리서치, 자가 유지보수 장비로 최고 생산 경신

고객사 협업 통해 식각 시스템 가동 시간 새로운 산업 기준 제시
 
박진석 기자 
 
   
 
램리서치가 자가 유지보수 장비로 최고 생산 기록을 경신했다.
 
웨이퍼 제조 장비 및 서비스를 공급하는 램리서치(Lam Research)가 반도체 공정에서 램리서치의 자가 유지보수 장비를 사용해 생산성에서 최고 생산 기록을 경신했다고 29일 밝혔다. 
 
램리서치의 식각 공정 플랫폼으로 협력을 맺은 반도체 제조사는 1년 간 생산 중단 없이 장비를 가동하면서 기록을 경신한 것으로 확인됐다. 반도체 공정 환경에서 세정을 위한 가동 중단 시간은 식각 시스템의 생산성을 제한하는 가장 주요한 요소다. 
 
식각 공정 모듈은 안정적인 성능을 유지하고 플라즈마 공정 과정에서 부식된 부품을 교체하기 위해 일반적으로 월 혹은 주 단위로 세정된다. 이에 1년 전 램리서치는 고객사와 함께 유지보수를 위한 세정 작업을 실시할 필요 없이 365일 동안 가동한다는 목표를 세웠고, 2019년 4월 그 목표를 달성했다.
 
램리서치의 부사장이자 식각 제품군 사업부장 바히드 바헤디(Vahid Vahedi)는 “이 놀라운 결과는 램리서치가 고객사들과 협업해 가장 어려운 기술과 생산성 문제를 해결하기 위해 전념하고 있다는 사실을 보여주고 있다”고 밝히며, “램리서치는 반도체 제조사들이 더 빠르고, 정확하고, 쉽게 생산성을 높일 수 있도록 4차 산업혁명 기술을 구현하는 데 전념하고 있습니다. 이번 사례를 통해 입증되었듯이 자가 유지보수 장비를 통해 인적 개입을 줄이면서 효율을 높일 수 있습니다”라고 말했다. 
 
식각 공정 모듈은 주기적인 유지보수와 소모품 교체가 필요하다. 이에 따라 챔버를 열어, 부품을 교체, 세정한 이후 챔버의 적격성을 다시 평가해야 하기 때문에 많은 시간과 인력이 소모된다. 이는 공정의 처리량에 영향을 주기 때문에 복잡한 일정 조정이 수반된다. 
 
자가 유지보수 솔루션을 사용하면 장비가 부품 교체 시점을 인식해 챔버를 열지 않고 자동으로 부품을 교체한다. 따라서 장비 가동 정지 시간이 줄어 전체 설비 생산성이 향상된다. 
 
이 혁신적인 솔루션에는 램리서치의 Kiyo® 프로세스 모듈, 진공 트랜스퍼가 장착된 Corvus® R 교체식 엣지링, 수명이 긴 챔버 구성품, 최적화된 웨이퍼리스 자동 세정 기술이 포함돼 있다. 
 
업계 최초의 자동 소모품 교체 시스템인 램리서치의 Corvus R 시스템은 이번 목표를 달성하는 데 있어 주된 역할을 했다. 식각 공정에서는 챔버를 자주 열어 부품을 교체해야 하기 때문에 엣지링 부식은 오래 전부터 해결해야 할 중요한 과제였으나, Corvus R은 사용한 엣지링을 새 엣지링으로 자동으로 교체하기 때문에 챔버를 열 필요가 없다.  
 
이 기술은 램리서치의 장비 인텔리전스(Equipment Intelligence)™ 솔루션의 일부분으로 자가 인식, 자가 유지보수 및 적응식 장비와 공정의 핵심 요소를 통합하여 구현했다. Equipment Intelligence 솔루션을 사용하면 머신 러닝, 인공 지능 프로그램, 자동화된 자가 인식 하드웨어 및 공정의 통합을 통한 생산성, 성능, 혁신성 향상 효과를 얻을 수 있다.
 
< 저작권자 © CIOCISO 무단전재 및 재배포금지 >
폰트키우기 폰트줄이기 프린트하기 메일보내기 신고하기
트위터 페이스북 미투데이 요즘 네이버 구글 msn 뒤로가기 위로가기
이 기사에 대한 댓글 이야기 (0)
자동등록방지용 코드를 입력하세요!   
확인
- 200자까지 쓰실 수 있습니다. (현재 0 byte / 최대 400byte)
- 욕설등 인신공격성 글은 삭제 합니다. [운영원칙]
이 기사에 대한 댓글 이야기 (0)
최근인기기사
1
델-폴리텍대학, IT 인재 양성 ‘맞손’
2
KT-르노차, AI 기반 차량용 이지링크 출시
3
T3엔터, 상장 주관사 '미래에셋대우' 선정
4
스토리지 관리, AI가 자동으로 한다
5
U+5G 스크린 골프 쳐보셨나요?
6
KT 5G쓰면 배터리 61% 오래 쓴다고?
7
쥬라기 공원 특별전! 할인• 무료혜택 쏜다
8
MS 클라우드 애저, AWS 추월할 기반 마련 중
9
듀얼스크린으로 만나는 5G 게임 세계!
10
선생님, 저희도 ICT 알고 싶어요~!
신문사소개기사제보광고문의불편신고개인정보취급방침청소년보호정책이메일무단수집거부기사배열 기본방침인터넷신문윤리강령
서울특별시 구로구 도림천로 446, 102동 1406호(구로동, 예성유토피아)  |  대표전화 : 02-3283-0488  |  상호명 : (주)씨미디어그룹
사업자등록번호 : 107-81-57633  |  대표자명 : 장명국  |  통신판매업신고번호 : 제2008-서울마포-01059호  |  인터넷신문 등록번호 : 서울, 아03158
등록연월일: 2014년 5월 16일  |  제호: CIOCISO  |   발행·편집인: 장명국  |   청소년보호책임자: 장명국
Copyright © 2012 CIOCISO. All rights reserved. mail to webmaster@ciociso.com